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企业专家进课堂——王晋经理讲授薄膜材料的制备方法

发布时间:2019-06-28作者:点击次数:

2019年6月27日上午8点,华润微电子有限公司王晋经理应我院范贺良老师之邀,在博3-A301展开了一场《薄膜材料与技术》的精彩授课。

本次授课的对象为2020届薄膜选修课材料专业的42名学生,授课内容围绕“薄膜材料的制备方法”展开,就薄膜材料的物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和旋涂掺杂工艺(SOD)等方面进行了介绍。

在授课过程中,王晋经理介绍了华润微电子有限公司所拥有的相关镀膜设备,并精心挑选了许多薄膜材料制备的工程案例,具体的分析了在薄膜制备过程所需要注意的事项,以及容易出现的问题及解决方案。王晋经理还对薄膜制备后可能存在的一些结构及应力问题进行了相关分析。此外,现场的同学们还进行了积极的互动,了解了与生产以及企业相关的知识。

此次校外专家的授课不仅增加了同学们的专业知识储备,还为今后的工作实践打下了基础。